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模拟IC版图绘制中,关于‘匹配性设计’的规则,除了共质心、 dummy器件等,在深亚微米工艺下还需要特别注意哪些与应力、刻蚀梯度相关的匹配技巧?
电子爱好者小张
其他
1个月前
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画版图时知道匹配器件要放一起、方向一致、用dummy。但听说在先进工艺下,机械应力、刻蚀的不均匀性对匹配性影响巨大。有哪些具体的版图布局技巧(比如深N阱的利用、屏蔽线的添加)可以应对这些非理想效应?
电子爱好者小张
这家伙真懒,几个字都不愿写!
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