FPGA学习笔记
嘿,材料物理转工艺集成,这个路径很靠谱!我博士是凝聚态物理,现在在fab做集成工程师。直接给你划重点吧。
知识补全分三层。第一层是工艺基础,光刻、刻蚀、薄膜、离子注入、热处理这五大块必须懂。重点不是背参数,而是理解每步的目的、物理/化学机制、以及它如何影响器件性能。比如,离子注入后的退火是为了激活掺杂和修复损伤,但温度太高会导致掺杂扩散,影响结深。这种权衡思维很重要。
第二层是集成流程。你要明白怎么用这些工艺步骤像搭积木一样做出CMOS器件。从硅片开始,隔离、阱区、栅极、源漏、接触孔、金属互连……每一步用的什么工艺,前后顺序为什么这样排。找一张经典的CMOS工艺剖面图,反复研究,把每个层对应的工艺步骤说出来。
第三层是问题导向的知识。工艺集成是解决实际制造问题的,所以要知道常见挑战:比如刻蚀负载效应、薄膜应力导致晶圆翘曲、不同材料间的粘附性问题、以及各种缺陷(颗粒、划伤等)。
TCAD要不要学?可以学基础。Sentaurus或Silvaco这类工具,你能用它跑一个简单的离子注入或扩散仿真,理解参数变化对掺杂分布的影响,就够了。这能帮你把工艺条件和器件电性联系起来,面试是加分项。但别花太多时间成为仿真专家。
书推两本:必读《半导体制造技术》(Quirk),入门神书。进阶可以看《硅超大规模集成电路工艺技术》。在线资源,edX的“半导体器件”课程,或者看看应用材料、Lam Research这些设备商官网的技术文章和视频,非常实用。
最后提醒,多关注行业新闻,了解先进工艺(如FinFET, GAA)的基本概念。面试时展现出你对工艺整合的逻辑思维和对细节的关注,材料背景的固体物理和材料分析基础反而是你的优势。
